Вакуумная арматура

Управление вакуумными потоками: Клапаны и Затворы

Вакуумная арматура — это критически важные компоненты любой системы, отвечающие за изоляцию объемов, управление последовательностью откачки и регулирование давления. В отличие от стандартной сантехнической арматуры, вакуумные клапаны должны обеспечивать герметичность в условиях молекулярного режима течения газа (уровень натекания $< 1 \cdot 10^{-9}$ мбар·л/с).

Основные типы конструкции

• Шиберные затворы (Gate Valves): Обеспечивают полное, беспрепятственное проходное сечение. В открытом состоянии механизм полностью убирается из потока. Используются для отсечения высоковакуумных насосов (ТМН, Крио), чтобы не снижать их проводимость.
• Тарельчатые клапаны (Poppet Valves): Наиболее распространены в угловом (Angle) исполнении. Используются в форвакуумных линиях, системах байпаса и шлюзования. Герметизация происходит за счет прижатия тарелки с эластомером к седлу.
• Бабочковые затворы (Butterfly): Компактные затворы с поворотным диском. Часто применяются как регулирующие (дроссельные) органы для поддержания давления в процессах плазменной обработки.

Приводы и автоматизация

Клапаны оснащаются различными типами актуаторов: ручными (для редких переключений), пневматическими (стандарт для автоматизации, время срабатывания < 0.1с) и электромеханическими (для точного позиционирования). Важной характеристикой является функция безопасности (Fail-safe): при пропадании питания клапан должен занять безопасное положение (обычно закрытое).