Вакуумные камеры

Технологические объемы

Вакуумная камера — это сосуд, рассчитанный на внешнее давление атмосферы. Камеры изготавливаются из материалов с низким газовыделением: нержавеющей стали (304L/316L), алюминия или стекла.

Типы камер

• Цилиндрические и сферические: Оптимальны по механике (работают на сжатие), позволяют делать стенки тоньше.
• D-образные и кубические (Box): Обеспечивают удобный доступ через двери для загрузки подложек и монтажа оснастки.
• Колпаковые: Классика напылительных установок. Поднимающийся колпак открывает доступ ко всей рабочей зоне.