Спиральные насосы (Сухие)

Безмасляные насосы, использующие две спирали Архимеда (одна неподвижная, другая орбитальная). Газ сжимается в серповидных полостях к центру. Идеальны для чистых приложений (масс-спектрометрия, электронная микроскопия), так как исключают миграцию углеводородов. Низкий уровень шума и вибраций. Требуют периодической замены уплотнителей (Tip seal).